取扱製品 テクノス社製品 パウダーキラー 真空排気配管を非分解による粉体クリーニング マイクロ HOT N2 ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束 HOT N2ヒーター ミストトラップフィルター 微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させドレインとして捕集 ポンプセーバー ドライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器 粉末トラップフィルター 液晶パネルCVD、半導体CVDの粉体処理に最適 各種部品 Assorted parts Robot 修理, O/H 半導体製造装置純正部品(AMAT, Lam等) ※入手不可の部品もございます。（例：300mm装置用等） 半導体製造装置輸入純正部品 ※入手不可の部品もございます。（例：300mm装置用等） 真空用機器部品 継手、チューブ マニホールド各種ソレノイドバルブ シリンダー各種エアオペレートバルブ 圧力スイッチその他 各種メーカーベアリング 各種シール部品 Oリング カルレッツ パーフロ ハイドンパッキン各種磁性流体シールオイルシール 各種ヒーター 【シリコンラバーヒーター】 ‣WATLOW ‣MKS ‣ニチアス 【トーチヒーター】 中古、OEM品 修理・オーバーホール 製造中止、修理対応打ち切りなどで、お困りになった経験は御座いませんか？弊社では、AMAT装置部品を中心に製造中止品〜現行品まで幅広く修理対応しております。 各種基盤修理（検査治具による出荷検査対応） 高周波電源装置（ENI, ADTEC, etc） マッチャー修理 DC電源修理（AE, etc） Cold Trap修理, O/H
