取扱製品

TECNOS

パウダーキラー

真空排気配管を非分解による粉体クリーニング

マイクロ HOT N2

ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束

ミストトラップフィルター

微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させドレインとして捕集

ポンプセーバー

ドライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器

粉末トラップフィルター

液晶パネルCVD、半導体CVDの粉体処理に最適

Assorted parts

半導体製造装置純正部品

※入手不可の部品もございます。(例:300mm装置用等)

真空用機器部品

継手・チューブ  マニホールド各種 ソレノイドバルブ

シリンダー各種 エアオペレートバルブ  圧力スイッチ他

シール部品

Oリング/カルレッツ パーフロ バイトン 

パッキン各種 磁性流体シール オイルシール

HEATER

WATLOW MKS ニチアス

Repair・O/H

製造中止、修理対応打ち切りなどの機器を修復、現行品まで対応しております。

各種基盤

アナログI/Oボード プラズマ装置用基板 FC-98拡張ボード パルス基板

MEIボード コントロール基板 CPUドライバー PCIボード他

RF電源

ENI ADTEC JPEL VARIAN RFPP HENRY THAMWAY DAIHEN

ADVANCEDENERGY

MATCHING BOX

ANELVA AMAT ENI DAIHEN ADTEC KYOSAN パール工業

ADVANCEDENERGY 松下電工 モリエンジニアリング 

DC電源

KYOSAN SANDEN LAMDA ULVAC LEYBOLTO Sorensen

ENI ANELVA ASTEC VARIAN ELECTRONIC MEASUREMENTS

ADVANCEDENERGY RFPP MATSUSADA

COLD TRAP

ULVAC EBARA