取扱製品

真空排気配管を非分解による粉体クリーニング

ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束

微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させドレインとして捕集

ドライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器

液晶パネルCVD、半導体CVDの粉体処理に最適

※入手不可の部品もございます。（例：300mm装置用等）

継手・チューブ 　マニホールド各種　ソレノイドバルブ

シリンダー各種　エアオペレートバルブ　 圧力スイッチ他

Oリング/カルレッツ　パーフロ　バイトン　

パッキン各種　磁性流体シール　オイルシール

WATLOW　MKS　ニチアス

アナログI/Oボード　プラズマ装置用基板　FC-98拡張ボード　パルス基板

MEIボード　コントロール基板　CPUドライバー　PCIボード他

ENI　ADTEC　JPEL　VARIAN　RFPP　HENRY　THAMWAY　DAIHEN

ADVANCEDENERGY

ANELVA　AMAT　ENI　DAIHEN　ADTEC　KYOSAN　パール工業

ADVANCEDENERGY　松下電工　モリエンジニアリング　

KYOSAN　SANDEN　LAMDA　ULVAC　LEYBOLTO　Sorensen

ENI　ANELVA　ASTEC　VARIAN　ELECTRONIC MEASUREMENTS

ADVANCEDENERGY　RFPP　MATSUSADA

ULVAC　EBARA